Керамические подложки BeO

Параметр

Единица изм.

Значение

Плотность

г/см3

≥2.85 

BeO чистота

%

≥99 

Прочность на изгиб

МПа

≥170

Коэффициент линейного расширения

20℃-500℃ 

×10 ⁻⁴ /℃

7-8.5 

Теплопроводность

40℃ 

Вт/м∙°K

≥250 

Удельная теплоемкость

25℃

Дж/Кг °C

720

Диэлектрическая постоянная

1MГц 20℃ 

6.5-7.5 

10ГГц 20℃ 

6.5-7.5 

Тангенс угла диэлектрических потерь

1 MHz 20℃

×10 ⁻⁴ 

≤4

10 GHz 20℃

×10 ⁻⁴ 

≤8

Удельное сопротивление

100℃ 

Ω∙cm

≥1013 

300℃ 

Ω∙cm

≥1010 

Диэлектрическая прочность

DC 

KВ/мм

≥15 

Химическая стабильность

1:9HCl 

мкг/см ²

≤0.3 

10% NaOH 

мкг/см ²

≤0.2 

Максимальная рабочая температура

℃

1800